CMOS工艺平台的单芯片三维磁传感器研究

项目名称： CMOS工艺平台的单芯片三维磁传感器研究

项目编号： No.61376075

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 潘红兵

作者单位： 南京大学

项目金额： 80万元

中文摘要： 动态实时精确测量某点磁通量密度B 矢量的大小和方向在磁测应用领域有着巨大需求。该方向亟待突破的难题是：需要解决将多个维度的磁传感器件几乎集中于一点，同时还需对各传感器件的混合原始信号量在保持精度的情况下采用特定算法实时计算出精确的目标值。为此本课题将围绕三个核心科学问题开展：三维磁传感器件架构；器件失调、噪声、灵敏度及信号混叠；测量值与目标值的映射算法。研究工作上，基于CMOS工艺设计一种微型分布组合式三维磁传感器件，建立器件模型，着重解决三个维度传感器件的结构、集成方法、相互间影响消除，以及传感器件的失调消除、噪声减小和如何提高灵敏度等问题；同时研究混合信号提取及测量值与目标值之间的高精度映射算法。通过集成电路MPW 流程制作三维传感器件，进行性能表征反馈优化，研究和改进与之匹配的信号调理电路，在CMOS 工艺平台上实现测量分辨率达0.1 高斯的单芯片三维磁检测传感器解决方案。

中文关键词： CMOS传感器；磁传感器；三维霍尔传感器；旋转电流法；

英文摘要： The measurement of the value and driection for a magnetic flux density B vector with dynamic and real time and high precision has been a great challenge,and it has great demand in magnetic application. One question is how to integrating the magnetic senso

英文关键词： CMOS sensor；magnetic sensor；three-dimensional Hall sensor；spinning current；