基于量子阱红外探测器的探测-读出单片集成技术探索

项目名称： 基于量子阱红外探测器的探测-读出单片集成技术探索

项目编号： No.61404130

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 无线电电子学、电信技术

项目作者： 苏艳梅

作者单位： 中国科学院半导体研究所

项目金额： 24万元

中文摘要： 量子阱红外探测器具有波长可调节、抗辐射性能好、以及大面阵均匀性好等优点。 它在军事、医疗以及其它领域都具有广阔的应用和巨大的社会、经济效益。然而在传统的量子阱红外大面阵器件中，器件必须与Si读出电路相连，倒装互联工艺非常复杂，而且Si与GaAs材料的热失配也使得器件的稳定性大大降低。本项目提出使用GaAs读出电路、基于量子阱红外探测器的探测-读出单片集成技术，这种单片集成器件具有很多优点：①读出电路和探测器材料在同一衬底上依次生长，无须要铟柱互联，减少了工艺难度，增强了器件的稳定性；②读出电路和探测器使用同种材料，无需考虑低温热失配问题；③量子阱红外探测器的低温工作也有利于GaAs电子器件的高速工作。这将是量子阱红外探测器制备技术的一次重大进步，真正实现了单片集成的光电一体化，具有重的实用意义。

中文关键词： 量子阱；红外探测器；信号读出；；

英文摘要： Quantum well infrared photodetectors (QWIP) have the advantages of wavelength adjustable , good radiation hardness and highly uniform large area focal plane array imaging system. It has widely and important applications in medical treatment, military and

英文关键词： quantum well；infrared photodetectors；signal readout；；