一维ZnO纳米线的高选择性一氧化碳气敏传感器研究

项目名称： 一维ZnO纳米线的高选择性一氧化碳气敏传感器研究

项目编号： No.10975109

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 李金钗

作者单位： 武汉大学

项目金额： 42万元

中文摘要： 采用气相沉积法研制直径均一的超细ZnO纳米线阵列；通过离子注入等技术调控ZnO纳米线的电子浓度，从而控制ZnO纳米线的电阻率．研制ZnO纳米线阵列场电离气敏传感器，深入研究该器件对一氧化碳的选择性探测。利用氦离子对定向ZnO纳米线阵列顶部进行辐照微细加工，调制纳米线顶端形貌，降低场电离传感器的工作电压．另外，采用离子束辅助沉积在纳米线表面形成CuO纳米颗粒,研制经表面修饰的一维ZnO纳米线电阻型气敏传感器以提高材料的气敏能力和对气体的选择性，期望获得具有良好气敏特性的一维ZnO气体传感器，为其在安全，生产，化工和国防等领域的应用提供科学依据和技术支持。

中文关键词： ZnO纳米线；离子注入；气敏传感器；纳米线场效应管；薄膜晶体管

英文摘要：

英文关键词： ZnO nanowires；ions implantation；gas sensors；nanowires field effect transis；thin film transistors