项目名称: 1.3微米波段高模式增益InAs/GaAs量子点激光器
项目编号: No.60976038
项目类型: 面上项目
立项/批准年度: 2010
项目学科: 自动化技术、计算机技术
项目作者: 李林
作者单位: 长春理工大学
项目金额: 31万元
中文摘要: GaAs基InAs应变自组织量子点体系因其优越的光电性能,成为替代目前InP基材料,制备光通信用1.3微米波段半导体激光器的热门材料之一。本项目拟优化MOCVD外延生长工艺参数,提高自组织InAs量子点阵列面密度及改善其均匀性,并分析生长参数对量子点质量的影响。拟采用较低In组分作为应变减小层(In组分小于15%),抑制或减小在高温退火过程中引起的量子点发光波长兰移,实现激光器基态发射波长在1.3微米波段。设计并制备多层(3-5层)自组织InAs/GaAs量子点激光器阵列结构,优化量子点的面密度以及GaAs势垒层,AlGaAs波导层和限制层的生长参数,加强量子点中的载流子限制。分析影响激光器阈值电流密度和模式增益的主要参数,获得最佳生长工艺条件。本项目为制备InAs量子点激光器提供理论和技术基础,实现具有高模式增益特性的室温GaAs基1.3微米波段的InAs量子点激光器。
中文关键词: InAs/GaAs量子点;1.3微米波段激光器;MOCVD;高密度;模式增益
英文摘要:
英文关键词: InAs/GaAs quantum dots;1.3μband lasers;MOCVD;High density;mode gain