太阳能硅片电磨削多线切割制绒技术基础研究

项目名称： 太阳能硅片电磨削多线切割制绒技术基础研究

项目编号： No.51175259

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2012

项目学科： 机械工程学科

项目作者： 汪炜

作者单位： 南京航空航天大学

项目金额： 60万元

中文摘要： 针对现阶段国内外晶硅太阳能电池的制造技术瓶颈，即降低成本和提高光电转换效率，提出一种低宏观切削力、少机械损伤的太阳能硅片电磨削多线切割新方法和切割制绒一体化技术。从太阳能级晶硅表面能带结构、载流子扩散方式及磨料滚动切割特性入手，揭示硅片的机械磨削复合微区电化学钝化（或腐蚀）材料去除和绒面形成机理，建立全新的太阳能硅片高效低成本加工体系；研究半导体精密电解电源及进电方法、固结（或游离）磨料切割方式及切削液技术、工艺参数库优化等太阳能硅片电磨削多线切割关键技术；掌握电源参数、伺服策略、张力控制、切削液组分等因素对降低硅片厚度、切缝宽度及切割线损耗的影响规律，提高良品率，降低断丝几率；开展切割制绒一体化基础研究，探索硅片表面完整性和亚表面缺陷应力层的定量分析和评价方法，掌握多场耦合调控增强电化学/磨削表面织构机制，优化绒面形貌，提高光电转换效率，实现晶硅太阳能电池产业共性关键技术的重大突破。

中文关键词： 太阳能硅片；多线切割；磨削；电化学；表面完整性

英文摘要：

英文关键词： solar wafer；multi-wire sawing；grinding；electrochemical；surface integrity