气敏金属氧化物半导体纳米球壳的制备和电输运调控

项目名称： 气敏金属氧化物半导体纳米球壳的制备和电输运调控

项目编号： No.11404251

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 靳长清

作者单位： 西安工业大学

项目金额： 30万元

中文摘要： 本项目针对气敏传感技术在生产生活实践中的巨大应用，依据气敏传感原理和纳米材料的属性，从提高传感器性能出发，设计出一种提高气敏灵敏度（GS）的结构——带有纳米孔隙的纳米球壳。拟通过对微结构、界面的调控来实现对单个纳米结构本征微观的电输运调控，从而实现GS的提高。同时，依据逾渗原理，提出MOS和贵金属纳米颗粒复合的机制，以实现对宏观元件（由纳米结构集合体组成）的电输运调控，从而解决宏观元件存在的电输运瓶颈问题即电输运效率低、电流损失大。通过增加电流通道，减小无效电阻和电流损失，来提高器件的电输运效率和气敏灵敏度，最终达到制备出常温使用的高GS纳米气敏传感器的目的。

中文关键词： 金属氧化物半导体；纳米结构；电子输运；气敏传感器；

英文摘要： Gas sensors based on metal oxide semiconductor, are now employed for detection of toxic and inflammable gases and monitoring atmospheric gases. In order to expande scale and scope of use, gas sensors with better gas properties at room temperature should b

英文关键词： Metal Oxide Semiconductor；Nanostructure；Electrical Transport；Gas Sensor；