与超极紫外光刻光源(6.x nm)相关的原子和辐射过程

项目名称： 与超极紫外光刻光源(6.x nm)相关的原子和辐射过程

项目编号： No.11404152

项目类型： 青年科学基金项目

立项/批准年度： 2014

项目学科： 数理科学和化学

项目作者： 李博文

作者单位： 兰州大学

项目金额： 25万元

中文摘要： 超极紫外光刻光源（6.x nm）的研发现在是实验室和半导体制造工业界的一个研究热点。本项目拟研究Gd/Tb, Galinstan等相关的复合靶和纯靶原子和辐射过程，通过改变等离子体条件和复合靶成分比重实现可调波长的6.x nm波段光刻光源，结合多层反射镜的反射效率，计算等离子体的转化效率，并与实验结果比较，寻找能够对感兴趣的波段的辐射产生贡献的高亮度超极紫外光刻光源所需的最佳条件，为工业上实现大规模量产提供理论依据和基础数据。如果光源效率太低等技术瓶颈问题能获得突破性进展，超极紫外光刻技术将于8 nm节点工艺投入量产。

中文关键词： 超极紫外光刻光源；辐射光谱；激光等离子体；；

英文摘要： The search for the optimum radiation source at 6.x nm for beyond extreme ultraviolet lithography (BEUVL) has gained considerable research interest in both laboratory and in high-volume manufacturing. In this work, the atomic and radiative processes of com

英文关键词： Beyond EUV lithography；Emission spectra；Laser-produced plasma；；