等离子相沉积PTFE膜的结构、成膜机理及其超疏水性研究

项目名称： 等离子相沉积PTFE膜的结构、成膜机理及其超疏水性研究

项目编号： No.51373077

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 江晓红

作者单位： 南京理工大学

项目金额： 75万元

中文摘要： 本项目针对医用微量注射器针尖表面疏水性差的具体问题，选择低的表面能的PTFE做靶材，构筑类荷叶的微观表面结构。采用真空低功率电子束蒸发，基底Ar+离子活化技术，在不同基底上沉积PTFE薄膜，以达到超疏水性的要求。对基底表面进行化学清洗和Ar+离子活化，并构筑微纳米二次结构。设计特殊装置收集等离子相，导入质谱仪确定碎片的质量及分布；调节碎片自由基和正、负离子浓度，使PTFE分子链纵向生长，获得一定微观粗糙度的低表面能分子结构的膜层。C60剥离XPS法探讨成膜过程中等离子相中碎片的"着床"和接枝生长的本质。利用EPR确定在不同厚度处，聚合物膜中的残余自由基浓度；阐述自由基成膜机理，建立薄膜生长动力学理论模型。为目前尚未明确的等离子相沉积法制备聚合物膜的成膜机理提出模型并提供证据。

中文关键词： PTFE薄膜；电子束蒸发；等离子相；成膜机理；结构和性能

英文摘要： This project aims at the specific issue that the medical needles of microsyringe have a bad surface hydrophobicity. We will start from two aspects: the choice of the materials with low surface free energy and the constructing of microscopic surface struct

英文关键词： PTFE flims；Electron beam evaporation；Plasma phase；Formation mechanism；Performance and structure