高温超导氧化物薄膜的激光化学气相沉积技术

项目名称： 高温超导氧化物薄膜的激光化学气相沉积技术

项目编号： No.51372188

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 一般工业技术

项目作者： 涂溶

作者单位： 武汉理工大学

项目金额： 80万元

中文摘要： 第二代高温超导薄膜中，GdBa2Cu3O7-x（GdBCO）在强磁场应用领域具有比YBa2Cu3O7-x更优异的超导性能。本项目申请人自行设计新型激光化学气相沉积（激光CVD）系统用于高速制备GdBCO薄膜。该激光CVD配置有照射直径20-100 mm、激光功率高达500 W的超高斯分布连续性泵浦固体激光，并建立液体原料喷雾供给系统使之适用于高温超导长带材的制备。重点研究激光功率、氧气分压、沉积速度对薄膜的生长取向、外延模式、微观结构的影响，获得织构组织和电学性能优异的GdBCO超导薄膜。通过增加膜厚和由Zr、Ca等元素掺杂形成的大量钉扎中心提高其载流能力，获得临界电流密度和临界电流更大的GdBCO薄膜。研究激光CVD法制备GdBCO薄膜的电学性能在强磁场中的变化。通过比较三种不同波长的激光对GdBCO薄膜的微观结构和沉积速度的影响探索激光CVD高速沉积速度的机理。

中文关键词： 有机化学气相沉积法；激光化学气相沉积法；超导；外延生长；取向

英文摘要： In the second generation of high temperature superconducting films, GdBa2Cu3O7-x (GdBCO) shows superrior superconductivities than YBa2Cu3O7-x in high magnetic fields. In the present project, a brand-new laser chemical vapor depositon (Laser CVD) system is

英文关键词： MOCVD；LCVD；Superconductivity；Epitaxial Growth；orientation