基于纳米摩擦与加工表面重构的机械刻蚀加工机理研究

项目名称： 基于纳米摩擦与加工表面重构的机械刻蚀加工机理研究

项目编号： No.51375276

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2013

项目学科： 机械、仪表工业

项目作者： 朱洪涛

作者单位： 山东大学

项目金额： 80万元

中文摘要： 纳米机械刻蚀加工是一项工艺灵活、控制简单的纳米加工技术，在纳米加工的单件小批量生产、刻蚀工具制造等方面具有独特的优势。本项目基于纳米摩擦学与纳米加工表面重构理论，对纳米机械刻蚀加工中探针-工件界面之间的界面接触、压入、推挤、摩擦、断裂、界面重构等作用过程以及加工条件和环境因素的影响进行纳观尺度研究及加工工艺仿真，揭示探针-工件界面之间的接触作用、纳米摩擦特性、加工表面创成机制。创建基于纳米摩擦学理论的探针-工件界面纳米摩擦作用机理模型，提出纳米刻蚀加工表面原子重构能量平衡临界条件，建立纳米机械刻蚀表面创成机理模型；建立纳米机械刻蚀加工工艺跨尺度仿真模型。本项目将深刻揭示纳米机械刻蚀的物理/化学本质、机械刻蚀加工系统工艺特征和探针-工件界面纳观特性。其研究成果为进一步发展和完善纳米机械刻蚀加工技术提供基础理论和应用技术支持。

中文关键词： 机械刻划；纳米摩擦；表面重构；纳米加工；加工机理

英文摘要： Mechanical nanolithography is a kind of nanomachining technology, which is flexible in process, easy to control and has unique advantages in small batch production and lithography tools fabrication. Based on nanotribology and theories of surface reconstru

英文关键词： Mechanical Scratching；Nano Tribology；Surface Reconstruction；Nano Machining；Machining Mechanism