薄膜集成式散热器的材料与工艺研究

项目名称： 薄膜集成式散热器的材料与工艺研究

项目编号： No.60976061

项目类型： 面上项目

立项/批准年度： 2010

项目学科： 自动化技术、计算机技术

项目作者： 林媛

作者单位： 电子科技大学

项目金额： 38万元

中文摘要： 随着器件尺寸的逐步缩小，为满足未来器件在厚度上的要求，将散热器薄膜化是封装工艺发展的一个重要方向。通过高导热薄膜的沉积形成薄膜集成式散热器（Thin Film Integrated Heat Spreader，Thin Film IHS）是实现这一目标的关键技术之一。本项目将以高分子辅助沉积(PAD)为主要制备手段，以氮化铝基复合薄膜材料作为主要研究对象，使用高分辨X射线衍射、SEM、热物性测试等表征方法，系统地研究纳米复合薄膜材料的制备工艺、微结构和导热性能之间的关系，重点研究薄膜的成分、应力、缺陷、晶界/边界、纳米结构的分布等微结构和热导率之间的关系。以此为基础，通过优化工艺或材料设计，改进薄膜的导热性能，从而获得适用于集成式散热器的纳米复合薄膜的最优材料设计和工艺技术，为实现集成电路散热器薄膜化打下基础。

中文关键词： 氮化铝；碳纳米管；集成薄膜散热器；界面热阻；

英文摘要：

英文关键词： AlN；carbon nanotube；thin film heat spreader；interfacial thermal resistance；